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Gamma 離子泵

離子泵,也就是通常所講的濺射離子泵或離子吸氣泵,是使用陽極/陰極陣列離子化氣體的一種捕集泵。離子濺射激活陰極材料,產生化學反應,將電離的氣體轉化成固態化合物,從而降低真空系統壓力,化合物被永久性捕集在離子泵內。離子泵的極限真空為10-5?~ 10-12?mbar,抽速為0.2 ~ 1200 l/s(N2)。
性能特點
? 無機械振動:泵上沒有運動部件,消除了運動部件產生的振動和電氣噪聲
? 抗輻射性強:泵、連接器和電纜均采用能夠承受超過108Gray的抗輻射材料,可長期持續工作。
? 耐高溫:無特殊考慮時,泵可加熱至250°C,取下磁體可加熱至450°C。UHV泵需長時間加熱烘烤。
? 無需日常維護:幾乎無需維護。由于與大氣完全隔絕,因此可以避免產生成本高昂的真空故障,從而節省了時間、成本和資源。
? 初始成本和運營成本低:初始成本通常低于同類規格的其他類型真空泵。它們盡可能少地耗費功率或完全不耗費功率,以實現多年以來的低成本操作。
技術指標

a: ?2V(2英寸頂部端口),2H(2英寸側端口),2D(雙端口,頂部和側部)
b: ?4V(4英寸頂部端口),4D(4英寸頂部端口和2 英寸側端口)
c: ?6S(單個6英寸端口),62(6英寸頂部端口和2英寸側端口),6D(6英寸雙端口,頂部和底部),
6P(6英寸頂部端口和8英寸側端口)
d: ?8S(單個8英寸端口),8D(8英寸雙端口,頂部和底部),8P(8英寸雙端口,頂部和側部);
e: ?需要額外的側端口或底部端口
f: ?已取下磁體。
*最大可提供1200 ls-1的離子泵,詳情聯系我公司銷售人員。
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