On-Board?IS500低溫泵

CTI-Cryogenics? On-Board?IS 500是現今市場上最高性能、最智能的大口徑（500m）低溫泵。顯著的抽速、容量和通道優勢，使On-Board?IS500成為那些要求穩定真空特性的高產能應用的理想選擇，例如LED、OLED、平板制造、光學鍍膜、金屬沉積、空間模擬和大容器抽空系統等應用。

擁有現場實踐檢驗，全球公認的CTI-Cryogenics On-Board?IS技術，On-Board?IS 500低溫泵可提供高抽速以實現快速抽空。通過程序控制，第一級溫度控制在100K可提供更穩定更可靠的真空性能，同時清潔無油運行，沒有液氮損耗從而改善真空質量。On-Board?IS 500低溫泵采用大冷量雙極制冷機（第一級100w@80k@50hz 120w@80K@60hz；第二級15w@20k@50hz 18w@20k@60hz），可支持高熱量工藝應用和大氣載從而獲得更好的真空可靠性能并能延長兩次再生之間的時間間隔。

On-Board? IS 500低溫泵冷頭采用機械驅動方式穩定可靠，不受氫氣壓力波動影響；雙級制冷機均采用硅二級管測溫元件，測溫準確反應靈敏；雙極制冷機均采用內置加熱器，可實現精準的控溫及再生時的輔助加熱；同時On-Board?IS 500低溫泵帶有氣體吹掃功能可以有效的幫助清潔活性炭，冷泵再生更徹底更安全。

智能即插即用的On-Board IS 500低溫泵是在共產安裝并測試過的包括閥、傳感器和加熱器的整套系統，同時還集成微處理系統，使你可以自動運行以下操作，甚至是異地也可以自動操作：

? 再生控制

? 溫度控制

? 手動遠程/本地控制

? 讀取運行歷史、診斷數據文件

? 電源故障自動恢復

? 診斷歷史數據記錄

? 真空系統PLC或主機

可靠的CTI-Cryogenics壓縮機輸送清潔無油的高壓氦氣。On-Board 500 IS低溫泵與現場On-Board IS 1000壓縮機無縫運作。更重要的是CE和UL認證的On-Board IS 1000壓縮機帶有智能通訊接口，在線監測氦氣流量、氦氣壓力、冷卻水流量、冷卻水溫度、功率消耗等運行參數指標，具有在線智能診斷功能。