性能特點

? 快速再生和多泵控制降低了停機時間并提高了生產效率

? 穩定的真空特性適應于變化的工藝條件

? 遠程監測可預測維護且提高了生產小懶蟲

? On-Board的配置——無窮多種變化選擇

? 運用GUTS?支持體系和TrueBlueTM服務協議

快速再生

回應更長的運行時間要求

盡管可以吸入大量的氣體,低溫泵還是不可避免的需要再生以去除凍住的氣體,恢復它們的真空能力。

運用集成控制,On-Board?低溫泵系統的再生時間只有傳統低溫泵的二分之一到三分之一。不僅是On-Board?低溫泵的完全再生速度更快,它的高度成熟的控制系統還能確保再生過程是真正完整的,設備或工藝生產效率是最大化的。

此外,On-Board?的快速再生功能進一步提高了連續運行時間,它用完全再生的一小部分時間快速去除工藝氣體,恢復自身的性能。

借助網絡技術推動生產力

對于多臺低溫泵系統,On-Board的泵對通訊網絡可以把低溫泵聯系在一起,并進行“團體”再生,而不是“一次一臺”的再生。通過執行泵與泵之間的協調再生任務,On-Board 的團體再生功能可以使多臺泵恢復全部生產力,而所用時間只比一臺非智能低溫泵再生的耗時稍稍多一點。

當工藝條件改變時真空依然穩定

我們設計的每一臺CTI-Cryogenics的On-Board低溫泵都具備穩定的真空特性尤其是當工藝條件不像您所期望的那樣穩定時。On-Board低溫泵通過控制第一級低溫冷板的溫度來維持在真空環境發生各種變化時的泵抽空能力——而這種能力是傳統低溫泵不具備的。總而言之,真空更穩定。

使預測維護成為可能——同時獲得更高的生產效率

On-Board?低溫泵系統是提供內置監控系統的創始。感謝On-Board低溫泵系統的集成網絡控制系統,甚至是與正常表現極輕微的偏離趨勢也可以顯示出來,這樣就可以在連續運行時間受到影響之前更早的進行防御好采取措施。

On-Board低溫泵監控特性歷史記錄包括全部運行時間、近期的再生歷史記錄、以及更多內容,使你可以仔細地觀察每一臺On-Board泵在此之前的運行特性—-從而獲知它們以后的優秀性能。了解從系統啟動開始到輕微的性能異常變化的實時監控數據,可以使你方便地安排停機時間——或者是按照維護計劃執行,或者是在其它恰當的時間。開始表現性能變差的零件可以很快地被更換,以保證正在進行的生產。總之,On-Board系統幾乎可以避免系統中的意外中斷

在我們全球支持服務體系的各種選項中,一種與GOLDLink軟件監控功能創建的如同親臨現場的聯系,使得JIT維護實踐變得可以預測。這樣帶來的好處就是提高了真空的可利用性、改善了工藝的可靠性,減少了晶圓的碎片率,同時降低了業主的成本。

幾乎無窮多種的選擇

Brooks是最早同時提供臥式和立式CTI-Cryogenics低溫泵的生產商,臥式結構用于體積緊湊的應用而立式結構則用于傳統應用。

On-Board低溫泵的尺寸范圍從法蘭內徑4英寸到400毫米。我們可以準確地提供滿足您應用安裝結構要求的泵。然而,您的選擇并不是低溫泵選型的結束。從一個高可靠性的氦氣壓縮機的完整管線到各種形狀和長度的彎曲管線,我們CTI-Cryogenics的龐大附件家族囊括了可以迎合幾乎所有現存真空需求的附件。

 

技術參數

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