EDWARDS產品 > CTI低溫泵 > 壓縮機
IS 1000壓縮機
IS-1000壓縮機將在與9600壓縮機相同的空間內支持多達六個車載IS-8F低溫泵。IS-2000V壓縮機-通過結合更高的壓力，旋轉技術和適應SEMI S-23目標的適應性氦氣輸送，在所有運行階段提供最低的能耗。IS-2000V取代了兩臺車載IS-1000壓縮機。這款高容量氦氣壓縮機旨在支持車載IS低溫泵應用。集成的低溫泵功率變頻器可確保所有Brooks真空泵在50 Hz和60 Hz應用中均具有最佳低溫泵性能。
性能特點
? 智能高效壓縮技術，根據工藝負載變化適時分配氦流量
?更大的優化系統的氦氣供應量，氦氣供應量是9600壓縮機的1.7倍
?使用方便，三年免維護運行
?支持遠程控制，便于壓縮機異地安裝時的操作
?每臺壓縮機可帶單臺或多臺泵
?幾乎和9600壓縮機一樣占地尺寸
?GUTS?支持（保證正常運行時的支持）
技術指標
| 工作電壓（3相） | |
|---|---|
| 低壓泵 | 180-253VAC |
| 高壓泵 | 360-506VAC |
| 電機功率 | |
| 低壓泵 | 5.8KW |
| 高壓泵 | 5.2KW |
| 冷卻水 | 1 GPM到4 GPM |
| 重量 | |
| 低壓泵 | 95kg |
| 高壓泵 | 101kg |
| 尺寸 | 587mm×494mm×542mm |
幾何尺寸
