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VIV電磁閥
VIV電磁隔離閥是一種高流導（11–126 l/s）、快速動作（<0.1 s）的高真空隔離閥。它可用于防止蒸汽或顆粒從前級泵反流回工藝腔體，并且在電源故障時，能夠防止工藝腔體破空。單向交流電壓和24 V直流電壓可供選擇，適用于大多數應用。
可推薦使用VIV閥的前級泵有nXDS、XDS、nXLi和nXRi等干式前級泵。當VIV閥關閉時，前級泵能夠安全破空。當前級泵停止或被停止時，VIV閥能夠保護工藝腔體不被破空。當前級泵重新啟動時，當VIV閥內的壓力下降（<200 mbar）時，閥門將緩慢（<15 s）打開，從而將任何壓力突然變化的影響降至最低。
性能特點
? 高導通
? 快速關閉
? 防止在電源故障的情況下導致工藝室排氣
? 可防止蒸汽或微粒從底泵移至工藝室
幾何尺寸
技術指標
| VIV25EKA | VIV40EKA | VIV50EKA | ||
|---|---|---|---|---|
| 法蘭類型 | NW25 | NW40 | NW50 | |
| 工作壓力范圍 | 1x10-8 to 1000mbar | 1x10-8 to 1000mbar | 1x10-8 to 1000mbar | |
| 分子導通率 | 11ls-1 | 30.5ls-1 | 126ls-1 | |
| 壓差 | ||||
| 關閉狀態 | >200mbar | >200mbar | >200mbar | |
| 打開狀態 | >200mbar | >200mbar | >200mbar | |
| 密封性 | 閥體 | <1×10-9mbar l s-1 | <1×10-9mbar l s-1 | <1×10-9mbar l s-1 |
| 閥座 | <1×10-5mbar l s-1 | <1×10-5mbar l s-1 | <1×10-5mbar l s-1 | |
| 先導閥 | <1×10-7mbar l s-1 | <1×10-7mbar l s-1 | <1×10-7mbar l s-1 | |
| 切換時間 | 開啟 | <15*s | <15*s | <15*s |
| 關閉 | <0.1s | <0.1s | <0.1s | |
| 響應 | <0.05s | <0.05s | <0.05s | |
| 材料 | 閥體 | 鋁 | 鋁 | 鋁 |
| 材料 | 密封 | 氟橡膠 | 氟橡膠 | 氟橡膠 |
訂貨信息
| 貨號 | 描述 |
|---|---|
| A50637500 | VIV25EKA電磁閥 24V DC |
| A50637501 | VIV25EKA電磁閥 100-115V AC |
| A50637502 | VIV25EKA電磁閥 208-230V AC |
| A50637510 | VIV40EKA電磁閥 24V DC |
| A50637511 | VIV40EKA電磁閥 100-115V AC |
| A50637512 | VIV40EKA電磁閥 208-230V AC |
| A50637520 | VIV50EKA電磁閥 24V DC |
| A50637580 | VIV閥連接盒 C13/C14 100-230V 50/60Hz |
| A50637392 | VIV閥電源線 |
| A50637590 | VIV閥連接盒 C19/C20 100-230V 50/60Hz |