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VPM-5 SmartPirani? MEMS復合真空壓力變送器
采用專利技術的VPM-5 SmartPirani?變送器性能優異，將現行熱傳導真空規的壓力測量范圍擴展了1~3個數量級，建立了真空測量的新標桿。丹麥Sens4公司將最前沿的MEMS（微機電系統）傳感器技術與全新精密數字信號處理構架和先進的創新測量算法相結合，成功開發出新一代智能皮拉尼變送器— VPM-5 SmartPirani?，再經過一系列的自動精密制造和校準等工藝，使之成為性能優異獨特的測量產品。
產品特點
- 范圍寬達9個數量級
- 體積小、耐沖擊、低功耗
- 前沿數字信號處理技術，極高性價比
- S4-Connect? USB 編程器輕松配置
- 0-10 VDC可配置輸出電壓
- RS232 或RS485數字化接口
- StableZero? 漂移補償，超穩定的溫度特性
- 為過程控制提供固態設定點繼電器選項
應用
- 質譜儀
- 掃描電鏡
- 熱處理真空爐
- 玻璃、光學部件和工具的
- PVD鍍膜
- 制冷及制造業
- 半導體工業
- 航天、航空環模設備
變送器集成了MEMS膜片探頭，大家熟知的熱傳導真空規在粗真空范圍對氣體的依賴問題得以解決，變送器測量精度可以與價格昂貴的電容薄膜規媲美。這樣使真空系統排氣過程和過壓保護的控制都變得更準確及時。
技術指標
| 測量范圍（mbar） | |
|---|---|
| 測量 原理 | |
| 1×10-6 mbar ~ 5 mbar | MEMS Pirani 氣體熱傳導原理 |
| 5 mbar ~ 8 mbar | 混合MEMS Pirani 氣體熱傳導/壓電讀數 |
| 8 mbar ~ 1200 mbar | MEMS 壓電電阻膜片 |
| 精度 | |
| 1×10-5 mbar ~ 9.99×10-5 mbar | 讀數的25％ |
| 1×10-4 mbar ~ 7.99 mbar | 讀數的5％ |
| 8.00 mbar ~ 99.9mbar | 讀數的1％ |
| 100 mbar ~ 800mbar | 讀數的0.5％ |
| 800 mbar ~ 1099mbar | 讀數的0.25％ |
| 1100 mbar ~ 1200mbar | 讀數的0.5％ |
| 滯后值 | |
| 1×10-3 mbar ~ 10 mbar | 1% |
| 10 mbar ~ 1200mbar | 0.1% |
| 模擬 輸出 | |
| 分辨率 | 16 位（150μV） |
| 更新速率 | 124Hz |
| 響應時間（ISO 19685:2017） | <20 ms |
| 溫度補嘗 | +10 ~ +50℃ |
| 固態 繼電器 | |
| 設定點范圍 | 5×10-6 mbar ~ 1200 mbar |
| 觸點額定值 | 50V，100mArms/mADC |
| 獲得的認證 | UL認證、CSA認證、EN / IEC 60950-1 認證 |
| 環境 條件 | |
| 工作環境、工作介質溫度 | 20℃ ~ +85℃ |
| 存儲環境溫度 | -40℃ ~ +120℃ |
| 烘烤溫度（非工作） | +120℃ |
| 最大介質壓力 | 10 bar 絕對壓力 |
| 安裝位置 | 任意 |
| 防護等級 | IP40（EN 60529 / A2：2013） |
| 濕度，IEC 68-2-38 | 98％，非冷凝 |
| 電源 | |
| 供電電壓 | 12~30VDC |
| 功耗 | 350mW(最大值） |
| 反極、過壓保護 | 有 |
| 內部保險絲 | 100mA, 可熱恢復 |
| 認證 | |
| CE | EN61000-6-2, EN 6100 |
| 滿足RoHS | EU 2015/863指令 |
訂貨指南
