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nEXT85渦輪分子泵
nEXT85型分子泵是成熟產品EXT75DX型分子泵的升級產品，技術性能進一步提升，外形進一步簡潔美觀。
渦輪重新整體設計，以達到優化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下，即能達到更高轉速，又能實現更高壓縮比。
nEXT85性分子泵的工作性能和服務擴大了nEXT分子泵的應用范圍，實現了智能安裝、現場服務，成為真正的領先產品。
性能曲線
幾何尺寸
技術指標
| nEXT85 DN40 | nEXT85 DN63 | |
|---|---|---|
| 抽速 | ||
| N2 | 47 | 84 |
| He | 61 | 78 |
| H2 | 49 | 60 |
| Ar | 44 | 80 |
| 壓 縮 比 | ||
| N2 | >1011 | >1011 |
| Ar | >1011 | >1011 |
| He | 8×106/2×107(D/H) | 8×106/2×107(D/H) |
| H2 | 2×105/5×105(D/H) | 2×105/5×105(D/H) |
| 極限真空（mbar） | ISO:＜5×10-9，CF:＜5×10-10 | ISO:＜5×10-9，CF:＜5×10-10 |
| 前級真空要求（mbar） | 18 | 18 |
| 入口法蘭 | NW40 | ISO63或CF63 |
| 出口法蘭 | KF16 | KF16 |
| 推薦前級泵* | RV5/nXDS6i | RV5/nXDS6i |
| 放氣口/吹掃口 | 1/8英寸BSP母螺紋 | 1/8英寸BSP母螺紋 |
| 重量（kg） | 3 | 3/4.5 |
| 90%轉速啟動時間 | 80W：130s，120W：90s | 80W：130s，120W：90s |
| 工作轉速 | 90000rpm | 90000rpm |
| 入口最高溫度 | 120℃ | 120℃ |
| 噪聲（1m處） | <34dB(A)±2.5 | <34dB(A)±2.5 |
| 最大耐受磁場 | 3.5mT | 3.5mT |
| 工作姿態 | 垂直、水平（±2°） | 垂直、水平（±2°） |
| 冷卻方式 | 空冷/水冷（單獨訂購） | 空冷/水冷（單獨訂購） |
| 電源 | 24V-48VDC | 24V-48VDC |
| 工作最高海拔 | 2000m | 2000m |